1.芯片厂酸性废气概述

　　芯片厂在出产工艺中运用各种酸液清洗、刻蚀芯片等过程中发生HF、HCl、硫酸雾等酸性气体。关于芯片厂企业在出产工艺过程中发生的腐蚀性气体（如酸、碱性废气）的管理，目前大多企业选用液体吸收法管理，选用液体吸收法管理该废气，关键在于废气净化设备的挑选。酸性废气管理一般选用喷淋塔，经过酸碱中和反响来净化酸性气体。

　　2.酸性废气净化设备——喷淋塔作业原理

　　喷淋塔净化原理是将气体中的污染物质分离出来，转化为无害物质，以达到净化气体的目的。它归于微分触摸逆流式，塔体内的填料是气液两相触摸的基本构件，塔体外部的气体进入塔体后，气体进入填料层，填料层上有来自于顶部喷淋液体及前面的喷淋液体，并在填料上形成一层液膜，气体流经填料空隙时，与填料液膜触摸并进行吸收或归纳反响，填料层能提供足够大的外表积，对气体流动又不致于造成过大的阻力，经吸收或归纳后的气体经除雾器收集后，经出风口排出塔外。

　　3.芯片厂废气处理工艺说明

　　出产车间酸洗池酸雾废气经风罩收集，经管道再进入酸性废气净化设备，酸雾净化塔体放置二层填料层并配置二级水浴设备，并在循环水池内加氢氧化钠（简称碱），以中和废气中的酸雾，酸雾处理塔的上端喷头喷出吸收液均匀分布在填料上，废气与吸收液在填料外表上充分触摸，由于填料的机械强度大、耐腐蚀、空隙率高、外表大的特点，废气与吸收液在填料外表有较多的触摸面积和反响时间。净化后的气领会饱含水份经过塔顶的除雾设备去除水份后直接排放大气中。

　　4.酸性废气净化设备使用范围

　　酸性废气净化设备广泛用于电子、化工、电镀、五金、铝材、电气、医药、印染等机械加工行业中发生的有害废气，如：盐酸（HCI)、氟化氢气体（HF）、氨气（NH3）、硫酸雾（H2SO4)、铬酸雾（CrO3)、氢氰酸气体（HCN)、碱蒸汽（NaOH)、硫化氢气体（H2S)、福尔马林（HCHO）等水溶性气体。

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